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本实用新型公开了一种用于集成电路芯片生产线的清洁装置，包括箱体、显示屏、按钮、进液口、排液口、移动装置、固定装置、清洗装置、风干装置、加热板。本装置通过洗板水将芯片表面的松香以及残留物进行浸泡，然后超声发生器通过超声波换能器放射超声波经过振动面钢板，作用于洗板水，对物体表面的污物进行撞击、剥离、以达到清洗的目的，它具有清洗洁净度高，清洗速度快等特点，并在清洗工作完成之后能够通过风机将残余的洗板水风干，加速清洗效率，本装置通过夹板与固定板以及弹簧之间的相互作用力将工件固定送往洗板水，避免了工作人员
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212944375 U
(45)授权公告日 2021.04.13
(21)申请号 202021584914.4
(22)申请日 2020.08.04
(73)专利权人 江西芯诚微电子有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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