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本实用新型公开了一种氮化硼坩埚氧化装置，包括加热套、加热管、惰性气体进管、管塞、氧气进管、氧气出管和支架；加热套安装在支架上；加热管水平地设置在加热套内；加热管一端为封端结构、另一端为敞口结构，管塞活动设置在加热管敞口一端内侧、且管塞与加热管内侧壁之间留有间隙，加热管内底部设有坩埚支撑座；惰性气体进管的进气端位于加热管外、出气端从加热管的封端一端伸入加热管内，氧气进管的进气端位于加热管外、出气端穿过管塞伸入加热管内，氧气出管的出气端位于加热管外、进气端从加热管的封端一端伸入加热管内。上述装置可以
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212955449 U
(45)授权公告日 2021.04.13
(21)申请号 202021826800.6
(22)申请日 2020.08.27
(73)专利权人 中锗科技有限公司
地
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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