半导体设备气柜泄漏检测装置.pdfVIP

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2023-02-27 发布于四川
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半导体设备气柜泄漏检测装置.pdf

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本实用新型公开了一种半导体设备气柜泄漏检测装置，包括：固定部设置在半导体设备气柜排气管内侧壁旁侧，其用于固定承载部；承载部用于承载检测颗粒，其位于半导体设备气柜上方；多颗检测颗粒，其为酸性检测指示剂，其遇酸性变色。本实用新型酸性指示剂变色能被安全人员及时发现，可以弥补侦测器报警下限范围之外的检测空白区域，避免由于氯气微泄漏造成的环境危害和设备损伤。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212963883 U (45)授权公告日 2021.04.13 (21)申请号 202022199111.3 (22)申请日 2020.09.30 (73)专利权人上海华力集成电路制造有限公司