薄膜穿孔缺陷检测装置.pdfVIP

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2023-02-28 发布于四川
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薄膜穿孔缺陷检测装置.pdf

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本实用新型属于薄膜材料测试技术领域，具体地涉及一种薄膜穿孔缺陷检测装置。所述的薄膜穿孔缺陷检测装置，包括支撑框架，在所述支撑框架上部设有真空吸板，所述真空吸板内设有中空的吸附腔，真空吸板的上表面设置若干个与吸附腔相通的吸附孔，所述吸附腔的下部与真空装置连接，在所述真空吸板的上方设置检测装置。本实用新型提供的聚合物薄膜缺陷检测装置不但可以对聚合物薄膜中的机械损伤、穿透缺陷(例如针孔)具有优异的检测精度，还能够实时地检测出聚合物薄膜或基片材料中缺陷的位置信息，对聚合物薄膜中的穿透缺陷(例如针孔)具有

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213022149 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021733703.2 (22)申请日 2020.08.18 (73)专利权人山东东岳高分子材料有限公司