一种实现炉内温度场梯度分布的高压单晶炉炉体结构.pdfVIP

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2023-02-28 发布于四川
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一种实现炉内温度场梯度分布的高压单晶炉炉体结构.pdf

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本发明公开了一种实现炉内温度场梯度分布的高压单晶炉炉体结构，解决了如何完成炉内温度场梯度分布的技术问题。在下炉体内腔（18）中，设置有沿上下竖直方向的下保温筒（20），在上保温筒支撑支架（10）上设置有沿上下竖直方向设置的上保温筒（11），在上保温筒（11）的顶端设置有盖板（12），下保温筒（20）与上保温筒（11）的底端对接在一起，下炉体（1）的炉底板、下保温筒（20）、上保温筒（11）和盖板组成一个封闭的炉内温度场空间，在该封闭的炉内温度场空间内设置有金属均温筒（14）、防爆裂石英筒（15）

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213013164 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021982905.0 (22)申请日 2020.09.11 (73)专利权人西北电子装备技术研究所（中国