一种大批量的真空镀膜基片清洗装置.pdfVIP

一种大批量的真空镀膜基片清洗装置.pdf

  1. 1、本文档共13页,其中可免费阅读7页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
  2. 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
  3. 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
  4. 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  5. 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  6. 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  7. 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  8. 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种大批量的真空镀膜基片清洗装置,包括超声波清洗箱、升降驱动装置和基片清洗夹具;基片清洗夹具包括清洗上板、清洗中板和清洗下板,所述清洗上板、清洗中板和清洗下板按照由上至下的顺序依次设置,清洗中板的每个“田”字格区域内均设有一组清洗槽,一组清洗槽之间设有连接通道,一组清洗槽呈蜂窝状设置,所述清洗槽内可设置基片。本实用新型的清洗夹具解决了基片分散式清洗不便的问题,使基片在清洗时也可做到规律排列、方便计数,中板设计的清洗槽彼此之间相互连通且呈蜂窝状排列,可使清洗剂更加充分地与基片接触,改善清洗效果,基

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213001539 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021881426.X (22)申请日 2020.09.02 (73)专利权人 镇江晶鼎光电科技有限公司

文档评论(0)

知识产权出版社 + 关注
官方认证
服务提供商

知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

认证主体北京中献电子技术开发有限公司
IP属地四川
统一社会信用代码/组织机构代码
91110108102011667U

1亿VIP精品文档

相关文档