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一种大批量的真空镀膜基片清洗装置，包括超声波清洗箱、升降驱动装置和基片清洗夹具；基片清洗夹具包括清洗上板、清洗中板和清洗下板，所述清洗上板、清洗中板和清洗下板按照由上至下的顺序依次设置，清洗中板的每个“田”字格区域内均设有一组清洗槽，一组清洗槽之间设有连接通道，一组清洗槽呈蜂窝状设置，所述清洗槽内可设置基片。本实用新型的清洗夹具解决了基片分散式清洗不便的问题，使基片在清洗时也可做到规律排列、方便计数，中板设计的清洗槽彼此之间相互连通且呈蜂窝状排列，可使清洗剂更加充分地与基片接触，改善清洗效果，基
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213001539 U
(45)授权公告日 2021.04.20
(21)申请号 202021881426.X
(22)申请日 2020.09.02
(73)专利权人 镇江晶鼎光电科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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