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本实用新型公开了一种半导体刻蚀设备的故障检测装置，涉及到半导体刻蚀设备用故障检测领域，包括检测台，所述检测台的顶侧固定安装有两个支撑柱，两个支撑柱的顶侧均开设有伸缩槽，两个伸缩槽内均滑动安装有伸缩柱，两个伸缩柱的顶侧分别延伸至两个伸缩槽外并均固定安装有横杆。本实用新型结构合理，可通过滑动控制块来带动两个激光发射笔水平移动，从而可以同时对两个半导体进行对比采集数据，采集到的数据通过处理中心进行分析对比，最终可自动得出半导体刻蚀设备出现故障的位置，不再需要人工肉眼来进行观察对比，可有效避免人工视觉误
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213022912 U
(45)授权公告日 2021.04.20
(21)申请号 202021081790.8
(22)申请日 2020.06.12
(73)专利权人 江苏邑文微电子科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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