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本实用新型涉及真空溅镀设备领域,尤其涉及一种活动式电浆处理电极,包括:腔体盖板、真空腔体、磁铁组、传送滚轮、导电台车、滑触集电器和上电极;本实用新型的实际使用中,上电极固定在真空腔体的内腔壁顶端,导电台车为下电极,下电极便于更与与维修;当导电台车运动到预定位置,与滑触集电器接触导通,通电后的导电台车作为下电极,产品放置于导电台车上,强化了下部电极的解离能力,并在传送滚轮和磁铁组之间形成磁场,进一步利用磁力磁感线引导电子与离子回旋,增加碰撞几率,提高电浆离子密度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213013070 U
(45)授权公告日 2021.04.20
(21)申请号 202021308502.8
(22)申请日 2020.07.07
(73)专利权人 柏霆(苏州)光电科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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