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2023-02-28 发布于四川
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本实用新型公开了—种晶圆刷盘，包括固定台，所述固定台的一侧固定连接有合页，所述合页的另一端固定连接有固定柱，所述固定柱的下端固定连接有第一支撑板，所述第一支撑板的上端固定连接有支撑台，所述支撑台的内部固定连接有第一电动机，所述第一电动机的另一端延伸处设置有第一电动机轴，所述第一电动机轴的另一端固定连接有第二支撑板，所述第二支撑板的上端固定连接有吸盘，所述固定台的内部固定连接有第二电动机，所述第二电动机的一端延伸处设置有第二电动机轴，所述第二电动机轴的侧壁固定连接有平键，所述平键的侧壁设置有套筒，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213001372 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021817715.3 (22)申请日 2020.08.27 (73)专利权人江苏无恙半导体科技有限公司