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本实用新型公开了一种三坐标测量机接触式探头,具体涉及三坐标测量机领域,包括探头外壳,所述探头外壳底部设有测量机构和测球,且测球位于测量机构底部,所述测量机构包括连接杆、连接片和传感器靶片,所述传感器靶片活动连接于连接杆与连接片之间,所述连接杆与测球之间固定连接,所述连接片远离传感器靶片的一端固定设有固定片,且固定片与探头外壳底部固定连接,所述传感器靶片顶部固定设有电容传感器。本实用新型通过设置测量机构,可使三坐标测量机的测量分辨率达3nm,量程达20μm,提高了三坐标测量机的精度,可用来测量非接
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213021419 U
(45)授权公告日 2021.04.20
(21)申请号 202021544462.7
(22)申请日 2020.07.30
(73)专利权人 青岛信号栅精密仪器有限公司
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