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本实用新型涉及打磨设备的技术领域，提供了一种晶棒定位装置包括：底座和可拆卸式设置在底座上的定位座；底座具有为平面的底面，底座的顶面朝底面凹陷形成用于供晶棒插入的U型柱面槽，U型柱面槽的延伸方向与底面平行；定位座上设置有供圆盘状砂轮卡入的卡槽；卡槽具有用于抵贴在砂轮的第一端面上的左平面内壁和用于抵贴在砂轮的第二端面上的右平面内壁；左平面内壁位于第一平面内，右平面内壁位于第二平面内，第一平面与第二平面平行。当砂轮竖直下降时可以与晶棒上的待加工线接触并打磨砂轮，将水平台面左右移动即可使得砂轮在晶棒上沿
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213004414 U
(45)授权公告日 2021.04.20
(21)申请号 202021089727.9
(22)申请日 2020.06.12
(73)专利权人 广东先导先进材料股份有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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