一种便携式硅片抛光装置.pdfVIP

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2023-02-28 发布于四川
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一种便携式硅片抛光装置.pdf

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本实用新型公开了一种便携式硅片抛光装置，涉及硅片抛光技术领域，为解决现有抛光装置携带不便，且只能针对硅片的一面进行抛光，不能两面同时进行，从而耗费时间，降低工作效率的问题。所述箱体内部固定设置有隔板，所述隔板的一侧为第一抛光室，所述隔板的另一侧为第二抛光室，所述第一抛光室和第二抛光室的内部均固定设置有外壳罩，所述外壳罩的一侧为齿轮室，所述外壳罩的另一侧为工作室，所述箱体外壁的两侧均固定设置有电机，且电机的输出端均延伸至齿轮室的内部，所述电机输出端的外壁上固定设置有第一齿轮，所述第一齿轮的两侧均设

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213004535 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021091823.7 (22)申请日 2020.06.12 (73)专利权人南京蔚蓝新材料科技有限公司