探针卡针尖压力检测设备.pdfVIP

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2023-02-28 发布于四川
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探针卡针尖压力检测设备.pdf

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本实用新型公开了探针卡针尖压力检测设备，包括底座，底座上设置有供待测探针卡放置的检测区。底座上还设置有观察机构和检测机构，检测机构包括固定在底座上的三维微调平台，三维微调平台上设置有检测其Z向输出轴升降高度的高度传感器，三维微调平台的Z向输出轴固结有压力传感器，压力传感器的测试头上设置有测试顶针，测试顶针位于检测区正上方；观察机构包括固定在底座上的龙门固定架，龙门固定架上设置有能十字移动的运动座，运动座上固结有体式显微镜，体式显微镜位于检测区正上方。结构简单，操作便捷，可快速检测针尖的压力和变形

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213023528 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021450561.9 (22)申请日 2020.07.21 (73)专利权人苏州矽利康测试系统有限公司