一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置.pdfVIP

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2023-02-28 发布于四川
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一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置.pdf

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本实用新型实施例公开一种用于多个中空零件内壁涂层的薄膜沉积装置，包括真空反应炉、热丝支架一、热丝支架二、电极柱一、电极柱二、热丝、若干个工作台、支柱、固定板和电机，工作台之间通过支柱连接，固定板位于薄膜沉积装置的顶部和底部，顶部和底部的固定板分别与支柱连接，顶部的固定板上端面设有热丝支架一，热丝支架一的一端安装电极柱一，底部的固定板上安装电极柱二，热丝支架二固定在电极柱二的顶部，热丝固定在热丝支架一上，热丝穿过工作台和热丝支架二，热丝的底部与拉伸装置连接，位于底部的固定板下端与电机的转轴连接，电

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213013084 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021493504.9 (22)申请日 2020.07.25 (73)专利权人太仓市盛达风机制造有限公司