氮氧化硅背钝化用管式PECVD炉.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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氮氧化硅背钝化用管式PECVD炉.pdf

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本实用新型公开了氮氧化硅背钝化用管式PECVD炉，包括底柜和管体，所述底柜中部安装有操作台，且底柜内部安装有抽气泵，所述底柜顶部安装有加热炉，且加热炉表面固定有连接块，且连接块另一端连接有卡块，所述卡块另一端连接有炉盖，且炉盖表面嵌入有观测玻璃，所述底柜内部安装有抽气泵，所述加热炉表面开设有通孔，且通孔下方设置有夹持块，所述夹持块内部连接有复位弹簧。该氮氧化硅背钝化用管式PECVD炉通过夹持块、复位弹簧与限位臂之间的相互配合设置，使其将管体放置于夹持块内部时，管体压动复位弹簧与限位臂向下移动，使

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213013089 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202022013747.4 (22)申请日 2020.09.15 (73)专利权人浙江泰恒新能源有限公司