用以沉积材料于基板上的沉积设备及阴极驱动单元.pdfVIP

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2023-02-28 发布于四川
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用以沉积材料于基板上的沉积设备及阴极驱动单元.pdf

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一种用以沉积材料的沉积设备(100)包括处理腔室(110)，处理腔室具有凸缘(120)。沉积设备(100)包括阴极驱动单元(130)。阴极驱动单元(130)耦接于凸缘(120)。阴极驱动单元(130)包括支撑构件(150)。阴极驱动单元(130)包括绝缘布置。绝缘布置的至少一部分分离支撑构件(150)与凸缘(120)。绝缘布置包括第一绝缘构件(262)及第二绝缘构件(264)，第二绝缘构件相邻于第一绝缘构件(262)。阴极驱动单元(130)包括第一密封件(210)，位于第一绝缘构件(262)及第

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213013067 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202020887427.9 (22)申请日 2020.05.22 (30)优先权数据 10-2019-0