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本实用新型公开了一种薄膜吸附移载装置,本实用新型通过将薄膜吸附组件设置在设置于机架上,其中薄膜吸附组件包含底板、吸附底板和吸附面板,吸附底板和吸附面板之间密封连接,吸附底板通过滑杆与底板滑动连接,采用这种方式,吸附组件在下压吸附的过程中能有足够的缓冲余量,能避免对薄膜造成机械损伤;同时,通过在吸附底板和吸附面板之间设置真空腔,真空腔可以通过管道与真空抽气设备连接,并且在吸附面板上设有与真空腔相通的吸附孔,吸附孔可以均匀的设置在吸附面板上,采用这种方式,能对薄膜提供均匀的吸附力。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213010716 U
(45)授权公告日 2021.04.20
(21)申请号 202021234873.6
(22)申请日 2020.06.29
(73)专利权人 深圳市汇创达科技股份有限公司
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