一种用于离线校准尼康i11光刻机激光器光轴的装置.pdfVIP

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2023-02-28 发布于四川
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一种用于离线校准尼康i11光刻机激光器光轴的装置.pdf

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本实用新型公开了一种用于离线校准尼康i11光刻机激光器光轴的装置，它涉及激光器校准技术领域。前定位块为激光器的前端定位挡板，放置在装置整体的前侧，前定位块的侧边放置有前侧边定位块，前侧边定位块的后部放置有后侧边定位块，前定位块、前侧边定位块、后侧边定位块的表面均设置有独立的承载平面台，前定位块与前侧边定位块的中部前方依次放置有近点小孔标记、远点小孔标记。本实用新型采用三个主支撑块组合而成的激光器光轴离线校准装置，将光刻机内部复杂的光路简化为一条直线，可直观地观察光线的变化，校准操作简便且耗时短，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213022247 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021976268.6 (22)申请日 2020.09.11 (73)专利权人上海矽锐电子科技有限公司