装片银浆残余检测机构.pdfVIP

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2023-02-28 发布于四川
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装片银浆残余检测机构.pdf

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本实用新型公开了一种装片银浆残余检测机构，涉及半导体生产辅助设备技术领域，解决了有的胶管还残余很多就进行了更换，有的胶管胶量用光还在正常作业，大大的增加了生产成本和芯片成本，同时也增加了后续的返工成本。包括安装板，所述安装板上连接有管安装座以及滑块，所述管安装座内设有银浆管；所述滑块连接有沿银浆管径向滑移的传感器、驱动传感器抵接于银浆管外壁的弹性件，传感器用于在其对准高度上感应银浆管内是否还有银浆。达到了可以自由更换大小胶管，操作简单，运行稳定，在预设的位置可以有效的检测胶量残余，避免胶量残余过

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213023613 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021775388.X (22)申请日 2020.08.21 (73)专利权人南通斯康泰智能装备有限公司