一种连续式镀膜线用高真空抽气系统.pdfVIP

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2023-02-28 发布于四川
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一种连续式镀膜线用高真空抽气系统.pdf

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本实用新型涉及真空溅镀设备领域，尤其涉及一种连续式镀膜线用高真空抽气系统，按照工件加工顺序，依次包括：大气载入腔体、载入高真空过渡腔体、进件暂存腔体、溅镀处理腔体、设置在溅镀处理腔体中的制程气体出气孔、出件暂存腔体、转出高真空过渡腔体和大气转出腔体；采用本实用新型，设置有真空波纹管连接涡轮分子泵与前级共抽管路，再由前级共抽管路连接共抽系统前级泵，配合各个腔体上的密封闸门，实现了由共抽系统前级泵一拖多的排气系统；配合真空计实时监测前级共抽管路的真空压力；实现设备成本合理控制，节能高效控制各个腔体气

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213013081 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021279603.7 (22)申请日 2020.07.02 (73)专利权人柏霆（苏州）光电科技有限公司