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一种连续式镀膜线用高真空抽气系统.pdf

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本实用新型涉及真空溅镀设备领域,尤其涉及一种连续式镀膜线用高真空抽气系统,按照工件加工顺序,依次包括:大气载入腔体、载入高真空过渡腔体、进件暂存腔体、溅镀处理腔体、设置在溅镀处理腔体中的制程气体出气孔、出件暂存腔体、转出高真空过渡腔体和大气转出腔体;采用本实用新型,设置有真空波纹管连接涡轮分子泵与前级共抽管路,再由前级共抽管路连接共抽系统前级泵,配合各个腔体上的密封闸门,实现了由共抽系统前级泵一拖多的排气系统;配合真空计实时监测前级共抽管路的真空压力;实现设备成本合理控制,节能高效控制各个腔体气

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213013081 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021279603.7 (22)申请日 2020.07.02 (73)专利权人 柏霆(苏州)光电科技有限公司

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