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2023-03-01 发布于四川
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加热处理装置.pdf

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本实用新型涉及一种加热处理装置。抑制在对基板进行加热时产生的升华物所带来的不良影响。一种加热处理装置，其在处理容器内对形成有涂布膜的基板进行加热，该加热处理装置具有：载置部，其设于所述处理容器内，用于载置所述基板；加热部，其用于对载置于所述载置部的基板进行加热；抽吸管，其与形成于所述载置部的抽吸口相通，贯穿所述载置部并向正下方延伸；以及收集容器，其设于所述抽吸管和抽吸机构之间的抽吸路径，所述收集容器构成为，设于俯视时所述载置部的正下方，与所述抽吸管连接，用于收集所述处理容器内的升华物。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213042875 U (45)授权公告日 2021.04.23 (21)申请号 202021198864.6 (22)申请日 2020.06.24 (30)优先权数据