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本实用新型公开了一种用于液晶面板刻蚀的电子监控仪,包括监控主机,所述监控主机分别与传送机械手摄像机、安装机械手摄像机、基板安装位扫描仪、基板固定器摄像机、刻蚀液进液流量计、刻蚀液喷嘴流量计、刻蚀液温度计、基板刻蚀面扫描仪、刻蚀液退液流量计、显示屏和报警器相连;所述监控主机对基板安装位扫描仪、基板刻蚀面扫描仪采集的数据与预先设置的标准数据进行比对,存在误差时通过报警器发出报警信号,并在显示屏上显示。本实用新型能对加工过程中每个步骤进行监控,保证产品加工质量,同时对加工中出现的问题,快速定位并给出报
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213041723 U
(45)授权公告日 2021.04.23
(21)申请号 202120596682.2
(22)申请日 2021.03.24
(73)专利权人 南京攀诺德自动化设备有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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