电阻测试结构.pdfVIP

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本实用新型提供一种电阻测试结构,有利于接触孔电阻的测试。电阻测试结构包括:第一晶体管和第二晶体管,共用同一源区和阱区,第一晶体管包括第一栅门、第一漏区以及源区,第二晶体管包括第二栅门、第二漏区以及源区;后端导线,位于源区之上,且与所述源区相垂直;接触孔,位于源区与后端导线之间,用于实现后端导线与源区的互连;第一通孔,连接第一栅门与第二栅门;第二通孔和第三通孔,均设置在后端导线上,且位于接触孔的两侧;第四通孔和第五通孔,分别设置于第一漏区和第二漏区上;第六通孔,设置于阱区上;以及六组测试节点,包括

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213026120 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202022359891.3 (22)申请日 2020.10.21 (73)专利权人 普迪飞半导体技术(上海)有限公

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