阵列基板的制造方法、阵列基板以及显示面板.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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阵列基板的制造方法、阵列基板以及显示面板.pdf

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本申请提供一种阵列基板的制造方法、阵列基板以及显示面板。阵列基板的制造方法通过在栅极金属层上形成包含铝原子的氧化材料层，通过加热氧化材料层，使铝原子夺取氧化物半导体材料中的氧，形成氧化铝，并使氧化物半导体层中的氧化物失去氧而导体化，形成薄膜晶体管的源极区和漏极区。相较于现有技术中通过离子掺杂来形成氧化物半导体层中的源极区和漏极区，本申请的阵列基板的工艺简单，难度低。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113437018 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110614262.7 (22)申请日 2021.06.02 (71)申请人深圳市华星光电半导体显示技术有