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本实用新型公开了一种晶圆的晶面宏观检查装置,检查装置包括固定架、Z轴传动模组、θ轴传动模组和载盘传动模组,所述固定架包括横板和竖板,所述Z轴传动模组包括Z轴电机、Z轴同步轮、Z轴同步带和滑行平台,所述Z轴电机和Z轴同步轮均固定在竖板上,两个Z轴同步轮间设有Z轴同步带,所述Z轴同步带通过夹块夹紧在滑行平台上,所述滑行平台侧边固定有极限感应片和竖板上设有的若干个极限传感器进行配合,θ轴传动模组固定安装在滑行平台上,所述θ轴传动模组包括θ轴电机、θ轴同步轮和θ轴同步带,所述载盘传动模组固定安装在滑行平
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213042881 U
(45)授权公告日 2021.04.23
(21)申请号 202021907940.6
(22)申请日 2020.09.04
(73)专利权人 憬承光电科技(厦门)有限公司
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