一种抗氧化、耐磨减摩的梯度纳米金属涂层及其制备方法.pdfVIP

一种抗氧化、耐磨减摩的梯度纳米金属涂层及其制备方法.pdf

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本发明涉及中高温氧化与自润滑领域,特别提供一种抗氧化、耐磨减摩的梯度纳米金属涂层及其制备方法。利用溅射特性,通过在磁控溅射镀膜过程中实时调整温度和真空度,可由单一靶材,不借助其他工艺,一步获得晶粒尺寸从表面到内部呈梯度分布的纳米金属涂层。本发明涂层制备工艺简单,适用但不限于普通碳钢、合金钢、轴承钢、铜基、钛基、钴基或镍基高温合金,可用于耐400℃以上航空发动机、燃气轮机、航天飞行器动力系统内的高温轴承与衬套等一类在高温环境下服役的传动部件。基于纳米结构促进Al和Cr的选择性氧化、提高表面硬度、促

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114318263 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111622161.0 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人 东北大学 地址 11

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