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2023-03-01 发布于四川
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本实用新型涉及一种晶舟，包括底座和垂直设置于所述底座上的支撑架，所述支撑架上沿其延伸方向间隔设置有多个用于承载硅片的承载结构，所述承载结构包括多个用于支撑于硅片的边缘的凸出部，还包括多个辅助支撑部，每个所述辅助支撑部与对应的所述承载结构相配合以共同支撑同一硅片，所述辅助支撑部能够支撑于硅片的中心，所述辅助支撑部与每个所述承载结构中的任一个所述凸出部远离所述支撑架的一端连接，或者所述辅助支撑部连接于所述支撑架上。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213026072 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202022505172.8 (22)申请日 2020.11.03 (73)专利权人西安奕斯伟硅片技术有限公司