一种等离子体辅助烧结装置及系统.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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一种等离子体辅助烧结装置及系统.pdf

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本实用新型公开了一种等离子体辅助烧结装置及系统，属于辅助烧结装置技术领域，装置包括x轴传动模块、y轴传动模块与z轴传动模块；x轴传动模块上设有放置待烧结材料的置物平台；y轴传动模块上相对置物平台设置有炬固定件，炬固定件用于放置等离子体炬；z轴传动模块上与垂直x轴传动模块设置，并与y轴传动模块连接。本实用新型通过三个传动模块，使等离子体炬相对待烧结材料能够给实现x轴、y轴、z轴方向的轴向移动，具有灵活移动功能，适用于大面积膜层制备；另一方面，等离子体炬具有较好灵活性，能够有效避免由于长时间进行固定

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213021013 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202022144001.7 (22)申请日 2020.09.25 (73)专利权人电子科技大学地址