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本发明公开了一种基于异质衬底的β‑Ga2O3薄膜及其制备方法,所述薄膜自下而上包括:异质衬底、缓冲层和β‑Ga2O3外延层;所述缓冲层自下而上包括:第一缓冲层和第二缓冲层,所述第一缓冲层为所述异质衬底对应的氧化物缓冲层,所述第二缓冲层为氧化铝缓冲层。本发明能够在异质衬底和β‑Ga2O3之间生长第一缓冲层和第二缓冲层,所述第一缓冲层能够为第二缓冲层提供极好的成核点,提高第二缓冲层的质量,所述第二缓冲层,即氧化铝缓冲层,能够减少β‑Ga2O3外延层与异质衬底之间的晶格失配,减少β‑Ga2O3薄膜中的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113517175 A
(43)申请公布日 2021.10.19
(21)申请号 202110633977.7
(22)申请日 2021.06.07
(71)申请人 西安电子科技大学
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