一种硅片校正机构.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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一种硅片校正机构.pdf

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本实用新型公开了一种硅片校正机构，包括底座、驱动装置、与驱动装置固定连接的连接座，驱动装置带动连接座旋转运动；底座上设有滑轨，连接座的两端均铰接有连接杆，连接杆与位于连接座两侧的校正座铰接，校正座与滑轨滑动配合。本实用新型中的校正机构，可以在有限的空间里进行安装，且校正空间不受影响；校正机构无需气缸，减少了气源提供，无气路管线；校正的硅片大小可变，无需更换校正设备。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213034989 U (45)授权公告日 2021.04.23 (21)申请号 202021360067.3 (22)申请日 2020.07.10 (73)专利权人南京卓胜自动化设备有限公司