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本发明提供了一种减反膜系、光学元件和制备膜系的方法。减反膜系包括:基底层;过渡层,过渡层与基底层连接,过渡层包括至少一个第一膜层和至少一个第二膜层,第一膜层和第二膜层为多个时,多个第一膜层和多个第二膜层交替叠置,第一膜层的折射率大于第二膜层的折射率;微结构层,微结构层设置在过渡层的一侧表面且微结构层与第二膜层连接;其中,减反膜系对波长在400nm至1050nm范围内的光的最大反射率小于等于1%。本发明解决了现有技术中光学元件存在反射率高的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113009601 A
(43)申请公布日 2021.06.22
(21)申请号 202110262405.2 C23C 16/40 (2006.01)
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