存储器及其制作方法.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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存储器及其制作方法.pdf

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本发明实施例提供一种存储器及其制作方法，存储器包括：沿第一方向延伸的有源区和沿第二方向延伸的字线，所述字线部分位于相邻所述有源区之间，所述字线包括栅导电层，在平行于所述第一方向上，所述有源区具有朝向所述字线的端面，且所述端面与所述栅导电层之间的间距的极差处于预设范围内。本发明有利于降低字线之间的信号干扰。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114078853 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202010832602.9 (22)申请日 2020.08.18 (71)申请人长鑫存储技术有限公司