一种绷膜环晶圆磁铁吸附平台.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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一种绷膜环晶圆磁铁吸附平台.pdf

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本实用新型公开了一种绷膜环晶圆磁铁吸附平台，包括第一导轨、第二导轨、工作台、底板、分隔板、支撑柱、第一安装板、电磁铁柱、限位凸起、推动气缸、第一斜块、第一滑轮、第二滑轮、第二斜块、第一拖链、第二拖链、铁环、支撑杆、滑轨、第二安装板、限位柱和连接板，所述第二导轨的一侧安装有第一拖链，所述第二导轨上安装有第一气缸，所述第一导轨上安装有滑块，且滑块的顶端与第二安装板的底端中心处固定连接，该实用新型，利用安装的电磁铁柱是电磁铁柱与铁环固定连接，进而对放置在铁环上的晶圆进行固定，改变了传统中采用真空进行吸

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213042900 U (45)授权公告日 2021.04.23 (21)申请号 202021688478.5 (22)申请日 2020.08.14 (73)专利权人憬承光电科技（厦门）有限公司