一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构.pdf

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本实用新型公开一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，包括底座和连接筒，所述连接筒的上端安装有底座，所述底座的上端设置有真空炉，所述真空炉的上端外壁上设置有冷却水管道，所述冷却水管道的下端外壁穿过真空炉并设置在真空炉的内部，所述真空炉内部的底座上端外壁上设置有真空仓门，所述真空仓门右侧的真空炉内部设置有加热棒，所述底座的上端内部设置有对位板，通过设计一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，在提纯铟完成后能够将真空仓门从真空炉内部向上升起，能够很方便地将真空仓门内部的废料完整地取出，且在不使用时能

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213020919 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202022156075.2 F27B 5/14 (2006.01)