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本实用新型公开了一种半导体机械手架,其技术方案要点是:包括安装板,安装板上固定设置有机械手本体,机械手本体上固定设置有导热机构,导热机构由基板和导热体组成,基板固定设置在机械手本体的下端面,导热体固定设置在基板的下端面,导热体为棒状,导热体中空设置,导热体上开设有多个通孔,通孔均匀分布在导热体上,安装板上固定设置有固定盒,固定盒的下端固定设置挡板,固定盒对应于挡板处开设有进风口,进风口内设置有安装架,安装架上固定设置有风扇,固定盒的左右两端开设有多个接口,接口与风道接通,风道异于与固定盒连接的一
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218525545 U
(45)授权公告日 2023.02.24
(21)申请号 202220087240.X
(22)申请日 2022.01.13
(73)专利权人 无锡市安晏克半导体有限公司
地址
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