一种硅片加工用清洗机的石英槽晶片承载台支撑底座装置.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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一种硅片加工用清洗机的石英槽晶片承载台支撑底座装置.pdf

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本申请属于半导体硅片加工技术领域，具体涉及一种硅片加工用清洗机的石英槽晶片承载台支撑底座装置。所述支撑底座装置，其总体呈“V”形结构，设于石英槽底部，包括正向支撑底座和反向支撑底座两个方向相反的支撑底座，并且相邻两个石英槽底部所设支撑底座装置方向相反；正向支撑底座由通过两端对称设置的两个连接杆连接的晶片撑杆A、中央撑杆和晶片撑杆B构成；反向支撑底座，由通过两端对称设置的两个连接杆连接的晶片撑杆B、中央撑杆和晶片撑杆A构成。本申请所提供的承载台支撑底座，结构设计巧妙，通过调整晶片与支撑底座接触位点

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213026070 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202022377926.6 (22)申请日 2020.10.23 (73)专利权人郑