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本发明提供一种埋入处理装置及成膜装置,埋入处理装置进行使电子零件的电极露出面与保护片良好地密接的埋入处理,成膜装置对进行了埋入处理的电子零件进行成膜处理。实施方式的成膜装置包括埋入处理部、成膜处理部,其中埋入处理部包括:腔室,能够使内部成为真空;片加压体,设置在腔室内,且位于隔着保护片与电子零件相反的一侧;零件加压体,设置在腔室内,且位于隔着电子零件与保护片相反的一侧;片侧弹性体,设置在片加压体上,且具有与保护片相向的平坦的片相向面;平坦的零件相向面,设置在零件加压体上,与电子零件相向;以及驱动
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112575297 A
(43)申请公布日 2021.03.30
(21)申请号 202010974944.4
(22)申请日 2020.09.16
(30)优先权数据
2019-1779
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