一种高纯铝或铝合金靶材及其制备方法和用途.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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一种高纯铝或铝合金靶材及其制备方法和用途.pdf

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本发明提供了一种高纯铝或铝合金靶材及其制备方法和用途，所述制备方法包括以下步骤：将铝或铝合金靶材坯料依次进行锻伸、一次热处理、锻造、二次热处理以及轧制，得到高纯铝或铝合金靶材；所述一次热处理的温度为345～355℃；所述二次热处理的温度为290～310℃；所述制备方法通过优化热处理工艺，显著细化了晶粒尺寸，解决了大尺寸靶材的晶粒均匀性和使用性能问题，工艺流程简单，成本低，有利于规模化生产，具有较好的工业应用前景。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113061853 A (43)申请公布日 2021.07.02 (21)申请号 202110287181.0 (22)申请日 2021.03.17 (71)申请人宁波江丰电子材料股份有限公司