一种CVD镀膜设备的真空室抽气装置.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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一种CVD镀膜设备的真空室抽气装置.pdf

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本实用新型公开了一种CVD镀膜设备的真空室抽气装置，涉及镀膜设备技术领域，具体为一种CVD镀膜设备的真空室抽气装置，包括镀膜机、真空机，所述镀膜机背面固定安装有集气室，且集气室的左右两侧固定安装有硬质分散管，所述集气室外部的一端螺纹套接有螺纹端盖，且螺纹端盖的背面固定安装有螺纹端盖。该CVD镀膜设备的真空室抽气装置，在真空机对镀膜机内部进行抽真空时，通过在镀膜机外部加装硬质分散管，使镀膜机可以多点进行排气，从而保证在对镀膜机进行抽真空时，镀膜机内部气流分布均匀，从而使镀室内蒸发的镀料或溅射靶溅出

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213037840 U (45)授权公告日 2021.04.23 (21)申请号 202021851698.5 (22)申请日 2020.08.31 (73)专利权人昆山福钻新材料科技有限公司