一种硅片清洗供水系统.pdfVIP

下载本文档

3
0
约4.87千字
约 5页
2023-03-01 发布于四川
举报
版权申诉

一种硅片清洗供水系统.pdf

1、本文档共5页，其中可免费阅读3页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型提出了一种硅片清洗供水系统，包括：依次连通的存水箱、空气热水器、离心泵、分流管道、清洗管道、药洗槽、溢流管道和第三管道，分流管道的上段连接若干清洗管道的进水口；每个清洗管道的出水口均连通一药洗槽；所有清洗管道的长度均相同；分流管道竖直设置；溢流管道为圆形并依次连通药洗槽的下段；溢流管道上设置排水阀；溢流管道的中心线与分流管道的轴线重合。本实用新型通过空气热水器将纯水加热至恒温，之后将恒温的纯水输入各个药洗槽内，避免了药洗槽本身直接加热，节约了电能；同时分流管道和清洗管道配合，将纯水同时

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213051802 U (45)授权公告日 2021.04.27 (21)申请号 202021441010.6 (22)申请日 2020.07.20 (73)专利权人江