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本实用新型涉及用于多晶硅还原炉的冷却系统，属于多晶硅生产中冷却技术领域。包括炉筒冷却水系统和停炉冷却水系统，炉筒冷却水系统包括炉筒冷却水回管、炉筒冷却水发生器和炉筒冷却水进管，停炉冷却水系统包括停炉冷却水回管、停炉冷却水发生器和停炉冷却水进管，炉筒冷却水进管上设置有控制阀Ⅰ，炉筒冷却水回管上设置有控制阀Ⅱ；停炉冷却水进管上设置有控制阀Ⅲ，停炉冷却水回管上设置有控制阀Ⅳ；停炉冷却水进管通过支管与停炉冷却水回管连通，支管上设置有控制阀Ⅴ。根据生产线上的实际需求，进行自由切换，防止炉筒夹套内部出现汽化
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213041033 U
(45)授权公告日 2021.04.23
(21)申请号 202021858185.7
(22)申请日 2020.08.31
(73)专利权人 四川永祥多晶硅有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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