一种恒温载台装置.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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一种恒温载台装置.pdf

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一种恒温载台装置，包括制冷装置和散热装置；其中，所述制冷装置包括载台、至少一个半导体制冷器、热电偶、水冷头、冷水进水管和出水管一，所述至少一个半导体制冷器设置在载台的下端面和水冷头的上端面之间，所述水冷头内设有制冷液，所述半导体制冷器的制冷面与载台的下端面贴合，并且半导体制冷器的制热面与水冷头的上端面贴合，所述冷水进水管和出水管一的一端均和水冷头连通，并且冷水进水管和出水管一的另一端和散热装置连接，所述热电偶设置在载台上，所述载台上可设置产品。本实用新型的恒温载台装置，可实现低于室温的恒温控制，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213044016 U (45)授权公告日 2021.04.23 (21)申请号 202021596300.8 (22)申请日 2020.08.05 (73)专利权人苏州华工自动化技术有限公司