一种晶元盘自动张紧装置.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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一种晶元盘自动张紧装置.pdf

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本实用新型公开了一种晶元盘自动张紧装置，包括固定架和设置于固定架上的载物装置，还包括储料装置包括储料架和升降驱动装置，升降驱动装置包括第一导轨和用于驱动储料架沿第一导轨升降的第一驱动装置，储料架的侧壁从上到下间隔设置有若干用于放置晶元盘的放置槽；设置于固定架上的横向导轨，储料装置和载物装置均位于横向导轨的同一侧；移载装置包括滑动设置于横向导轨的固定臂和驱动固定臂沿横向导轨移动的第二驱动装置，固定臂远离横向导轨的一端设置有用于夹持晶元盘的夹爪和带动夹爪升降的升降装置；第一驱动装置、第二驱动装置、夹

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213011705 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202022025917.0 (22)申请日 2020.09.16 (73)专利权人东莞触点智能装备有限公司