一种微流控盘片自动上料装置.pdfVIP

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本实用新型提供一种微流控盘片自动上料装置,包括上料架、固定安装于上料架上的X向滑轨、滑动连接于X向滑轨上的Y向滑轨、滑动连接于Y向滑轨上的Z向滑轨、滑动安装在Z向滑轨上的滑杆以及固定安装在滑杆末端的盘片抓取头;还包括放置于上料架凹槽处的盘片载具托盘、固定安装在盘片载具托盘上的盘片载具、盘片制具工位和盘片检测工位;还包括固定安装于上料架上的CCD视觉检测模块,CCD视觉检测模块包括伸缩板、相机、光源和检测装置箱。本实用新型设置成自动化结构不仅能够大幅度缩短上料时间,提高生产效率,还能减小对人力的需

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213068899 U (45)授权公告日 2021.04.27 (21)申请号 202023209944.X (22)申请日 2020.12.28 (73)专利权人 天津微纳芯科技有限公司

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