一种MEMS陀螺仪及电子产品.pdfVIP

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2023-03-02 发布于北京
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一种MEMS陀螺仪及电子产品.pdf

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本实用新型提供了一种MEMS陀螺仪及电子产品，MEMS陀螺仪包括基底；固定件，与基底固定连接；环形件，套设于固定件外侧并与固定件连接，且悬置于基底上，环形件在径向上的截面呈波浪形且在基底上的投影呈圆环形；电极组件，与基底固定连接，用于与环形件形成电容，以驱动环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动，并检测环形件沿与第一方向呈45°或135°夹角的第三方向的振动位移，一方面利用圆环形陀螺仪几何结构高度对称的特征，提高陀螺仪的灵敏度，另一方面波浪形环形件，降低变形难度，提高陀螺仪的品质因数，且相比于

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213090781 U (45)授权公告日 2021.04.30 (21)申请号 202021346504.6 (22)申请日 2020.07.09 (73)专利权人瑞声科技（南京）有限公司