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本实用新型公开一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括壳体、泄气阀及MEMS芯片；壳体包括具有进声孔的基板，基板的内部设有泄气通道，泄气通道的一端形成有贯穿进声孔的侧壁的第一开口，其另一端形成有贯穿基板的内表面的第二开口；泄气阀包括呈层叠设置的主动片和被动片；主动片贴合在基板的内表面并罩盖第二开口，主动片的热膨胀系数大于被动片的热膨胀系数；被动片具有与主动片层叠的被动部，及自被动部延伸出并罩盖进声孔的固定部，固定部贯设有与进声孔对应的透声孔，并与基板固定；MEMS芯片设置在被动片的固定部，并罩
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213073101 U
(45)授权公告日 2021.04.27
(21)申请号 202022300692.5
(22)申请日 2020.10.15
(73)专利权人 潍坊歌尔微电子有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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