一种磁控溅射镀膜冷却室.pdfVIP

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2023-03-02 发布于四川
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一种磁控溅射镀膜冷却室.pdf

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本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜冷却室，包括冷却室本体，冷却室本体的一侧设置有进风箱，进风箱的顶部固定连接有吸风机，吸风机的输入端固定连接有连接头，连接头远离吸风机的一侧等距固定连接有冷却铜管，冷却室本体的内部固定连接有冷却箱，冷却箱的内部等距固定连接有环形结构的冷凝板，冷却铜管均贯穿冷凝板且延伸至冷却箱的内部，本实用新型的有益效果在于：通过在冷却室本体内铺设冷却铜管，并通过冷凝板对冷却铜管内部的空气进行降温，从而使得冷却铜管内部的气体在经过冷凝板后处于较低的温度，进而使这股冷空气与冷却室本体的

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218539807 U (45)授权公告日 2023.02.28 (21)申请号 202222996854.2 (22)申请日 2022.11.08 (73)专利权人杭州比凡科电子科技有限公司地址