一种可实现材料图案化的激光加工平台.pdfVIP

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2023-03-02 发布于四川
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一种可实现材料图案化的激光加工平台.pdf

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本实用新型公开一种可实现材料图案化的激光加工平台，包括样品加工运动控制模块，温度控制模块，激光光路系统以及CCD监控观测模块。激光光路系统包括激光器、反射镜、扩束镜、1/2玻片、偏振片、光束提升器、显微分光模块、显微反射照明器、物镜、载物台；温度控制模块通过温控台连接载物台实现样品温度的控制；运动控制模块包括计算机及三轴位移台。工作时，计算机通过控制位移台的移动，使激光束在载物台上样品逐点扫描，实现材料表面图案化。本实用新型结构简单、性能稳定、便于调节、造价便宜，实现材料微米级别的加工。在加工的

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218547246 U (45)授权公告日 2023.02.28 (21)申请号 202223004412.1 (22)申请日 2022.11.11 (73)专利权人天津科技大学地址 300457