一种用于聚对二甲苯真空沉积系统的耐高温密封结构.pdfVIP

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2023-03-05 发布于四川
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一种用于聚对二甲苯真空沉积系统的耐高温密封结构.pdf

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本实用新型公开了一种用于聚对二甲苯真空沉积系统的耐高温密封结构，包括主机、真空腔室和底座，所述底座布置于主机的一侧，真空腔室水平布置于底座的顶端，所述主机靠近真空腔室的一端连接有管口法兰一。本实用新型通过在管口法兰一与管口法兰二上皆设有环形隔热槽，并在环形隔热槽内部填充有环形陶瓷或隔热棉，一方面利用环形隔热槽部位管口法兰侧壁厚度降低减小了热量向外侧传递的速率，另一方面利用环形隔热槽内部的环形陶瓷或隔热棉的隔热保温效果避免了管口法兰的散热对高温原材料造成温度降低的影响，由于冷却槽布置于环形隔热槽的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213206874 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202022022334.2 (22)申请日 2020.09.16 (73)专利权人吉