一种可升降MEMS微镜封装工作台.pdfVIP

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2023-03-05 发布于四川
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一种可升降MEMS微镜封装工作台.pdf

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本实用新型公开了一种可升降MEMS微镜封装工作台，包括工作台，所述工作台的下方设置有两个套筒，两个所述套筒的内部均设置有支撑杆，所述支撑杆的顶部与工作台的底部固定连接，两个所述套筒之间设置有转动组件，所述转动组件的上表面通过转轴转动连接有连接杆，所述连接杆远离转动组件的一端通过转轴与支撑杆的后表面转动连接，所述工作台的内部开设有凹槽，所述凹槽的内部设置有隔板，所述隔板的上表面设置有微型扫描镜本体。本实用新型通过套筒、连接杆、支撑杆和转动组件等之间的配合，实现了支撑杆的自由升降，进而也带动了工作台

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213197453 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202021512107.1 (22)申请日 2020.07.27 (73)专利权人无锡微视传感科技有限公司